咨詢(xún)熱線(xiàn)
400 8816 976
400 8816 976
當前位置：首頁(yè) >產(chǎn)品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂?jì)x>HC160PE程控精密勻膠機
簡(jiǎn)要描述：HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性
產(chǎn)品型號：HC160PE廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家 更新時(shí)間：2022-01-04訪(fǎng) 問(wèn) 量：2145 產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
可編程精密勻膠機
型號：HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機，采用高級PLC 全自動(dòng)程序控制，轉速精度高，穩定性好?？捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
特點(diǎn)：
l 設計緊湊，可放置在手套箱內；
l 4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；
l 不銹鋼外殼，美觀(guān)耐腐蝕；
l 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；
l 內腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；
l 高級PLC全自動(dòng)程序控制，可編程；
l 帶真空度安全互鎖檢測功能；
l 帶蓋子安全互鎖檢測功能；
l 帶排廢接口；
l 配置一個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口，可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統；
l 可設置用戶(hù)密碼保護功能；
l 配置可調基座，方便調節水平；
技術(shù)參數：
l 適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；
l 旋涂速度：100~12000rpm；
l 轉速分辨率：1rpm；
l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
l 旋涂時(shí)間：3000s；
l 旋涂時(shí)間精度：0.1s；
l 內腔直徑220mm，內腔壁采用*的凹面防濺設計；
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
l 電源輸入：AC200-230V；
設備外形尺寸：長(cháng)X寬X高：310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機
HC160PE程控精密勻膠機
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱：info@analysis-tech.com
地址：北京市海淀區建材城中路3號樓程遠大廈B座606
官方微信
公司官網(wǎng)
微信掃一掃